在半導體芯片制造中,電子電鍍與光刻技術同樣重要。光刻技術用于在硅片上制作高度集成的晶體管,像是芯片的“腦細胞”;而電子電鍍技術則用來制造晶體管之間邏輯互連的電子導線,構成芯片的“神經網絡”。今天,電鍍設備廠家將討論用于電子電鍍的半導體電鍍設備。
半導體廣泛應用于集成電路、消費電子、通信系統、光伏發電、照明以及大功率電源轉換等多個領域,例如二極管就是一種利用半導體材料制造的器件。
從科技和經濟發展的角度來看,半導體的重要性都非常突出。大多數電子產品,例如計算機、手機和數字錄音機等,其核心組件與半導體息息相關。
常見的半導體材料包括硅、鍺和砷化鎵等,其中硅在各種半導體材料的應用中影響力。
半導體電鍍設備是芯片生產過程中,將電鍍液中的金屬離子沉積到晶圓表面,以形成金屬互連的設備。這類設備在半導體制造中至關重要,特別是在銅互連工藝中,能夠降低互連的阻抗,減少器件的功耗和成本,并提高芯片的速度、集成度及器件密度。