蝕刻機的冷凍蝕刻技術是在冷凍破裂技術的基本上發展趨勢起來的更繁雜的復型技術。假如將冷凍破裂的樣品的溫度略微上升，讓樣品中的冰在真空泵中提升，而表面層浮雕圖案出細胞質的超微結構。當很多的干冰升華以后，對浮雕圖案表層開展鉑一碳復型，并在腐蝕水溶液中去除生物技術，復型經重蒸水數次清理后，撈在載在網上作透射電鏡觀查。
技術優勢：
蝕刻機的冷凍蝕刻技術是以50時代逐漸發展趨勢起來的一種將破裂和復型緊密結合的制取透射電鏡樣品技術，因此亦稱冷凍破裂或冷凍復型。
它的優勢取決于：
①樣品根據冷凍，可讓其細微構造貼近于活物情況；
②樣品經冷凍破裂蝕刻后，可以觀查到不一樣破裂面的細微構造，從而可科學研究體細胞內的膜性構造及含有物構造；
③冷凍蝕刻的樣品，經鉑、碳鍍洛而制取的復型膜，具備較強的層次感且能承受離子束負電子和長期性儲存。
技術缺陷：
它的缺陷是：冷凍也可導致樣品的人為因素損害；破裂面多造成在樣品構造敏感的位置，沒法有到達站挑選。